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2025-07-11 03:34:49
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网务助相关研究成果以Asubmicrometresilicon-on-insulatorresonatorforultrasounddetection为题于2020年9月17日在线发表于Nature上。同时，络评力青力实本文是的设计还实现了超宽的检测带宽，在6分贝时达到230兆赫。
此外，估优本文的探测器可实现超小型化的超声读数，能够以与光学显微镜相当的分辨率进行超声成像，并有可能在硅芯片上开发非常密集的超声阵列。除了使检测器适合于以非常密集的阵列制造之外，现高效安还表明亚微米级的传感区域还可以实现超分辨率的检测和成像性能，现高效安展示了比所检测的超声波波长小50倍的特征成像。然而，全传大的感测长度（100-300微米）和窄带宽（10-30兆赫）不允许点状检测，限制分辨率和小型化潜力。
基于SOI的光学谐振器设计提供的单位面积灵敏度比微环谐振器高1000倍，华为化服海电比压电检测器高100000000倍。一个常见的例子是利用嵌入在光纤波导中的π移布拉格光栅干涉仪进行光学干涉测量，网务助超声波会扰动两个布拉格光栅之间建立的光学腔的长度和折射率，网务助从而改变其共振特性。
微加工方法已被用于产生电容式和压电传感器阵列，络评力青力实但带宽仅为几兆赫，而尺寸超过70微米。
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